海德星科技有為某大型芯片公司開發(fā)的芯片缺陷自動檢測設(shè)備近日投入使用。該設(shè)備采用直線電機(jī)、音圈電機(jī)和伺服電機(jī)多軸混合控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了高速、高精度的分揀，在90%的良率時可達(dá)到20000UPH。